课程概述
表面处理简介物理气象沉积（PVD）、化学气象沉积（CVD） 和等离子体辅助化学气相沉积（PECVD）真空溅镀技术缺陷和处理方案新技术及案例
培训对象
研发工程师、采购工程师、工艺工程师
课程收益
了解表面处理技术及其发展趋势
课程内容
一、表面处理简介
二、物理气象沉积（PVD）、化学气象沉积（CVD） 和等离子体辅助化学气相沉积（PECVD）
三、真空溅镀技术
四、缺陷和处理方案
五、新技术及案例
• 蒸发镀
a.电子枪蒸发；b.电阻丝蒸发
• 溅射镀
a.单体式；b.连续式；c.枚叶式。
• 离子镀
a.电弧离子镀；b.磁控离子镀；c.电弧+磁控离子镀
